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影響表面檢查燈檢測(cè)瑕疵效果的因素有哪些?
點(diǎn)擊次數(shù):2043 更新時(shí)間:2020-03-17
   表面檢查燈,從廣義上來(lái)說(shuō):檢查表面情況的燈具都是表面檢查燈。主要為綠光、黃綠光為光源,樣式主要有便攜的手電筒、手持式、燈條式、懸掛式、桌面式。有的因?yàn)楸挥糜诓煌馁|(zhì)表面檢查不同的情況,而被命名多種。深圳熒鴻網(wǎng)站產(chǎn)品中心表面檢查燈分類(lèi)下的燈主要是檢查玻璃、屏幕、晶圓等材質(zhì)表面瑕疵(微塵、刮花),其他的表面檢查燈,根據(jù)應(yīng)用的材質(zhì)不同而被不同命名。
  綠光表面檢查燈利用了介于500nm波長(zhǎng)以上眼睛感覺(jué)Z舒服的波段,來(lái)做透明玻璃或是鏡面不銹綱工作對(duì)象particle及刮傷判別檢查。3300應(yīng)用場(chǎng)合在晶圓、光盤(pán)片、曝光玻璃、玻璃光罩、底片、LCD ITO等表面之顆粒Particle異物及刮痕檢查。需要指出的是,該儀器只是對(duì)本來(lái)存在顆粒異物等的“放大"作用,為主觀判斷的表面檢查燈。
  綠光因是人眼敏感的光源,因此被用來(lái)檢查工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸等等缺陷,不同廠家的綠光檢查燈制作工藝不一,影響綠光表面檢查燈檢測(cè)瑕疵效果的因素如下:
  照度
  表面檢查燈的照度越高,檢查的效果越好,被檢查的瑕疵就越清晰。因?yàn)榛覊m異物吸收燈光激發(fā)熒光反應(yīng),刮花缺陷吸收足夠的強(qiáng)度發(fā)生反射,這就讓瑕疵們很好的被發(fā)現(xiàn)。
  均勻性
  表面檢查燈燈光的均勻性越好,檢查效果越好。檢查燈的均勻性除了添加勻光片外,還跟光學(xué)透鏡的設(shè)計(jì),發(fā)光角度,高度,以及燈的整體布局都有關(guān)系。
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